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壓阻傳感器的基本原理是將電轉化為電阻值

時間:2022-09-26 點擊次數:

壓阻傳感器的基本原理是將測量的電量轉化為電阻值,然后通過轉換電路轉化為電量輸出。各種電阻傳感器主要包括壓敏傳感器、熱敏傳感器、光敏傳感器和濕敏傳感器。

壓力傳感器可以測量力、壓力、位移、應變、加速度和溫度。電阻傳感器結構簡單,性能穩定,靈敏度高,有的還可用于動態測量。

以典型的固態壓阻壓力傳感器為例,當硅單晶材料受到外力作用時,其內部原子結構的電子能級狀態會發生變化,導致其電阻率的劇烈變化。這種材料制成的電阻也發生了很大的變化,稱為壓阻效應。利用壓阻效應原理,采用綜合工藝技術,沿單晶硅片特性晶體方向,形成應變電阻,形成惠斯登橋,利用硅材料的彈性力學特性,在同一硅材料上進行各向異性微加工,形成集力敏感和力轉換檢測于一體的擴散硅傳感器。將放大電路及相關外圍部件與傳感器匹配,輸出標準信號,形成完整的變送器。

硅壓阻力傳感器一般對溫度敏感,但隨著集成技術的進步,擴散硅敏感膜的四個電阻一致性進一步提高,在新一代傳感器中,原手工補償被激光阻力、計算機自動修復技術取代,傳感器溫度系數很小,工作溫度范圍也大大提高。

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