不同類型的微型壓力傳感器由于工作原理、材料工藝及設計結構的差異，其精度表現存在顯著區別。以下從技術分類、精度范圍、影響因素及應用適配性四個維度進行對比分析：

一、主流傳感器類型與精度分級

類型 精度范圍 典型產品 技術特點

壓阻式 ±0.1%FS~±1%FS Bosch BMP388, ST LPS22HH 硅基壓阻效應，成本低，易集成，溫度漂移需補償（約 0.01% FS/℃）

電容式 ±0.05%FS~±0.5%FS Honeywell HSC Series 微機械電容結構，抗過載能力強，線性度高（0.1% FS），適合動態測量

諧振式 ±0.001%FS~±0.01%FS Honeywell QFSA Series 石英晶體諧振頻率輸出，溫度穩定性極佳（0.0001% FS/℃），需真空封裝

應變式 ±0.2%FS~±2%FS TE Connectivity SM Series 金屬應變片粘貼結構，耐沖擊，響應速度快（<1ms），但長期穩定性較差

光纖式 ±0.05%FS~±0.1%FS FISO Tech FOP-Mini 光纖布拉格光柵（FBG）傳感，抗電磁干擾，適合高溫高壓環境（-200℃~+500℃）

熱傳導式 ±1%FS~±5%FS Sensirion SDP810 熱膜風速計原理，成本極低，精度受環境溫度影響大（±0.5% FS/℃）

二、精度影響因素對比

溫度漂移

諧振式（最低，0.0001% FS/℃）＞電容式（0.01% FS/℃）＞壓阻式（0.02% FS/℃）

補償方案：壓阻式需內置溫度傳感器 + 查表補償（精度提升 30%）

非線性誤差

電容式（0.1% FS）＜壓阻式（0.2% FS）＜應變式（0.5% FS）

修正方法：三階多項式擬合可將壓阻式非線性降至 0.05% FS

遲滯效應

諧振式（0.01% FS）＜光纖式（0.05% FS）＜熱傳導式（1% FS）

材料影響：硅材料遲滯（0.05% FS）顯著優于金屬（0.2% FS）

長期穩定性

石英諧振式（年漂移 0.005% FS）＞陶瓷電容式（年漂移 0.1% FS）＞硅壓阻式（年漂移 0.3% FS）

三、典型應用場景適配性

場景 推薦類型 精度需求 技術優勢

醫療植入 諧振式 / 光纖式 ±0.01%FS~±0.001%FS 生物兼容性封裝，長期穩定性

工業精密控制 電容式 / 壓阻式 ±0.05%FS~±0.1%FS 動態響應快，抗振動

消費電子 壓阻式 / 熱傳導式 ±0.5%FS~±2%FS 微型化，低成本

航空航天 諧振式 / 光纖式 ±0.001%FS~±0.0001%FS 抗極端環境，高精度冗余設計

汽車電子 壓阻式 / 電容式 ±0.1%FS~±0.5%FS ASIL 認證，寬溫域補償

四、選型決策樹

精度優先場景

＞±0.01% FS：石英諧振式（需接受成本溢價 10 倍以上）

＞±0.1% FS：陶瓷電容式（抗沖擊性能優異）

成本敏感場景

＜±1% FS：硅壓阻式（占消費電子市場 70% 份額）

＜±5% FS：熱傳導式（如電子煙氣流檢測）

特殊環境需求

高溫高壓：光纖式（＞300℃）或藍寶石壓阻式

強電磁干擾：光纖式或隔離封裝的電容式

五、性能驗證建議

溫漂測試：在 - 40℃~+85℃范圍內測試精度衰減（行業標準允許≤0.5% FS 總漂移）

長期穩定性：連續工作 1000 小時后精度變化應＜0.2% FS

動態響應：階躍壓力響應時間需＜5ms（工業控制場景）