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相對壓力傳感器集成電路的研發

時間:2021-03-22 點擊次數:

有關企業在集成電路相對壓力傳感器測量應用中推出超低壓。利用最新的微電子機械系統技術,與模擬信號鏈和數字信號處理器緊密結合,是一種可可靠測量50mbar至700mbar燃料蒸汽壓力的集成系統,適用于內燃機或中型EVAP系統(燃料蒸發排放控制系統)。

隨著更多地區實行嚴格的法規,大氣中的燃料蒸汽被禁止排放。使用EVAP系統檢測燃油蒸汽壓力對生產廠家來說越來越重要。EVAP系統捕獲、存儲和處理燃料蒸汽,當燃料蒸汽在油箱和燃料中間聚集時,防止它們泄漏到空氣中。該壓力傳感器能在超低電壓下工作,它能檢測出EVAP系統中任何部分可能發生的微小泄漏,因此它是此類系統的關鍵部件。

該產品是相對壓力傳感器,具有穩定、可靠、準確等特點,適用于內燃機及大中型EVAP系統,一級供應商和模塊制造商可使兩個產品設計一種,應用于工廠校準的傳感器IC。這種傳感器包裝牢固,易于密封,能在零下40度到零上150度之間工作,并能提供完整的PPAP(產品部件批準程序)支持。

在這些方法中,燃料蒸汽的測量更為復雜,因此需要更強大的感應解決方案。另外,由于ICE(內燃機)和EVAP系統都配有一些壓力傳感器IC,因此靈活、簡單的設計就顯得尤為重要。MLX90821不僅尺寸小到可以用于任何模塊,而且由于系統集成程度高,設計也很簡單,實際上提供了即插即用的方式。數字信號處理機(P)可以充分利用發送接口上的快、慢信道,增加診斷信息,應用自定義校準,提高診斷精度。MLX90821具有鉗位電平、斷路診斷和內部故障診斷等多種診斷功能。

該系統封裝了壓力傳感器集成電路,采用背板蝕刻的制造執行系統傳感器,使其暴露在蒸汽和其它介質中,提供強大的保護,防止燃料蒸汽系統等惡劣環境中的污染物。本系統中制造執行部分的開發,保證了設計的靈活性。與此同時,整個傳感器具有極強的制造執行系統(EMC)保護和免疫能力,使其易于與制造執行系統和制造執行系統集成。

每一個傳感器集成電路在生產的最后一步都要進行校準,以在內部的EEPROM中存儲壓力傳遞曲線和鉗位電平。利用比例模擬或發送函數輸出溫度測量結果,包括溫度測量結果。此外,可以選擇的NTC(負溫度系數)溫度補償功能采用外部NTC,當應用程序還需要記錄監測介質的精確溫度測量數據時,可能就需要使用外部NTC。

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